干式真空泵內(nèi)凝結了顆粒物、可凝性氣體該如何解決
更新時間：2018-10-26 | 點擊率：3922
在實際的干式真空泵應用中，干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性，而是需要通過過濾設備來予以解決。那么干式真空泵內(nèi)凝結了顆粒物、可凝性氣體到底該如何解決呢？
1、適當提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數(shù)，隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過程中生產(chǎn)的氯化鋁，在對應壓力下，其在80℃就會開始氣化，因此在將泵內(nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。
2、降低會反應氣體的濃度。單位時間內(nèi)氣體反應生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關，所以在干式真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體，減少反應氣體濃度來降低顆粒物的形成。這個方法也會用于泵內(nèi)溫度冷卻，防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等，也可以防止介質(zhì)達到著火極限等可能，如CVD工藝中可能的爆炸。
3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積，使氣體的流動速度大于顆粒物沉積的臨界速度，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出，防止沉積。具體的方法與第2點一樣，在不影響真空泵的極限壓力的前提下，就是充入適量氣體。
